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有源型靜電軸承

2014-09-20 19:34 作者:管理員17 來源:未知 瀏覽: 字號:

摘要:2.2有源型靜電軸承 有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度, 可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜 電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖 13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對 電極的伺服控制電路方框圖。 有源型靜電軸承常

2.2有源型靜電軸承
    有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度,
可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜
電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖
13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對
電極的伺服控制電路方框圖。
    有源型靜電軸承常用的位置傳感器有光電傳感
器、高頻電橋等。伺服控制系統通常包括輸出電路、
位置敏感電路、補償網絡、放大器、振蕩器、調制器
和解調器等。
六面電極球形靜電軸承

(責任編輯:laugh521521)
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